使用 COMSOL Multiphysics® 精确分析涡轮分子泵

Caty Fairclough 2017年 8月 9日

真空系统的设计研究有时充满了挑战,因为一些分析方法仅仅在气体分子的相对移动速度比真空壁的速度快得多的情况下可行。涡轮分子泵不属于此类情况,它可以采用蒙特卡洛方法和 COMSOL Multiphysics® 软件提供的旋转坐标系 特征进行建模和分析。下文将通过具体案例进行演示。

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Brianne Costa 2015年 5月 25日

化学气相沉积 (CVD) 能够生产出兼具高质量、高纯度及高强度等优点的材料,因此在半导体行业非常受欢迎。超高真空化学气相沉积 (UHV/CVD) 涉及相当复杂的设备和极高的温度。为了能在提高效率的同时更好地控制成本,工程师们可以对这一复杂工艺进行模拟。本篇博客中,我们将以硅基片的生长为例进行说明。

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Daniel Smith 2013年 5月 2日

石墨烯可以在高真空下利用热分解制造。为了设计和优化这些高真空系统,工程师可能转向仿真寻求帮助,不过目前还没有多少仿真工具能胜任这一工作。让我们来看一下真空系统如何与石墨烯的生产相关,为什么要模拟它们,以及如何模拟。

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