MEMS 与纳米技术 博客文章

模拟无阀微泵机理
多数微流系统的调控都依靠无阀泵进行,因为无阀泵与生物材料相容性良好,并且堵塞风险较低。然而,这种类型的泵不适合黏性流体及小尺度或低流量的系统。为了突破这一局限,可以引入微型泵机理,将振荡流体运动转换为单向净流。

模拟阀中的堆叠式压电执行器
压电阀的开关由位于密封圈之上的堆叠式压电执行器负责控制。当向堆叠式压电执行器施加一个电压时,它会发生膨胀或收缩,并通过这一变形来打开或关闭阀。本篇博客中,我们将介绍 COMSOL Multiphysics 5.1 版本中新增的一个教程模型,它模拟了气动阀中的堆叠式压电执行器。

模拟表面微加工加速度计
表面微加工是一种用于制造加速度计等 MEMS 器件的工艺。本篇博客中,我们模拟了加速度计中的电场和力,并重点介绍了 COMSOL Multiphysics 5.0 版本中新增的一项几何特征。

通过化学气相沉积合成石墨烯
随着诸多应用中对石墨烯使用的不断增长,过去几年中,市场上对它的需求也在不断上涨。这也进一步推动了石墨烯合成方法背后的研究工作,其中之一是化学气相沉积 (CVD)。在本篇博客中,我们将介绍一个研究团队如何使用模拟来分析和增强 CVD 石墨烯生长机制。

压电材料:标准简介
对于工程师而言,标准既是我们工作中不可分割的一部分,也是我们之间用以交流复杂信息的通用语言。但标准委员会并非万能,有时一些修订标准也没能被广泛接受。压电材料的相关标准就碰到了类似问题,尤其是在石英晶体中。本篇博客将介绍目前关于压电材料的两套不同标准,虽然我们的侧重点是石英,但其中所述标准同样适用于所有压电材料。

压电材料的晶体取向和极化方向
正/逆压电效应与材料本身的各向异性程度紧密相关,反过来又与压电材料的晶体结构存在关联,各向异性的程度同时又受到极化过程的影响。下面,我们将介绍如何在 COMSOL 软件中正确地模拟压电材料的晶体取向和极化方向。