三维偏压谐振器:稳态,特征频率,频域和吸合分析

Application ID: 11748


本例在时域和频域模拟静电驱动 MEMS 谐振器,该装置由平行板电容器上施加的交流 + 直流偏压驱动。其中评估谐振频率与直流偏压的相关性,并执行频域和瞬态分析来研究该装置的性能。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: