GEC CCP 反应器一维模型 - 氩化学

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NIST GEC CCP 反应器为研究电容耦合等离子体提供了平台。即使是最简单的等离子体模型也十分复杂,因此一维示例有助于理解物理场,而无需过多的 CPU 时间。

该问题没有稳态解,不过经过一定数量的 RF 循环(通常 >1000)后会达到周期稳态性。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块