一维 GEC CCP 反应器,氩化学

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NIST GEC CCP 反应器提供了研究电容耦合等离子体的平台。本例研究在频率为 13.56MHz 的正弦静电场中功率沉积到等离子体中的机理。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块