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GEC CCP 反应器

Application ID: 8646


NIST GEC CCP 反应器为研究容性耦合等离子体提供了一个平台,本案例模型研究 13.56MHz 的正弦静电场中功率沉积到等离子体中的机理,它还包含一个连接等离子体和电源的外部电路。

本案例使用的模块如下:

等离子体模块