离子能量分布函数

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离子能量分布函数(IEDF)是求解自洽等离子体模型之后最有用的物理量之一。IEDF 的大小和形状取决于许多放电参数:压力、等离子体电位和鞘套宽度等。在非常低的压力下,可以认为等离子体鞘套不发生碰撞,这意味着离子能量不会因与背景气体的碰撞而减小。在较高的压力下,离子与鞘套中的背景气体分子发生碰撞,它们在与表面碰撞的瞬间能量减小。需要“粒子追踪模块”。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: