离子能量分布函数

Application ID: 11400


本模型计算了电感耦合等离子体中氩离子的离子能量分布函数(IEDF)。离子初始被设为 Maxwellian 分布函数。\n\n本模型需要粒子追踪模块。

本模型示例在以下产品中提供:

等离子体模块