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离子能量分布函数

Application ID: 11400


本模型计算了感应耦合等离子体中氩离子的离子能量分布函数(IEDF)。离子初始被设定为 Maxwellian 分布函数。\n\n本模型需要粒子追踪模块。

本案例使用的模块如下:

等离子体模块