离子能量分布函数

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本例计算了电感耦合等离子体中氩离子的离子能量分布函数 (IEDF) 。离子初始设为 Maxwellian 分布函数,随后受到稀薄的背景气体的弹性碰撞和电荷交换反应的共同作用。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:

等离子体模块