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偏振器的电压吸合力

Application ID: 11751


本案例模拟了静电驱动的 MEMS 偏振器,它是由在平行板电容器截面施加 AC+DC 偏压来驱动。在模型中计算了不同电压的吸合力。

本案例使用的模块如下:

MEMS 模块