偏振器的电压吸合力

Application ID: 11751


本案例模拟了静电驱动的 MEMS 偏振器,它是由在平行板电容器截面施加 AC+DC 偏压来驱动。在模型中计算了不同电压的吸合力。

本模型示例在以下产品中提供:

MEMS 模块