偏压谐振器的稳态分析 - 二维

Application ID: 11751


硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器,如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。

“偏压谐振器的稳态分析”模型对施加直流偏压 的谐振器执行稳态分析,它用作所有后续分析的基础,下面简要介绍了这些后续分析。

<ul><li>“偏压谐振器频率响应”模型对结构执行频域分析,该结构随着其工作直流偏压也发生偏移。</li> <li>“偏压谐振器的固有模态”模型对施加和不施加直流偏压的谐振器执行模态分析。</li> <li>“偏压谐振器的吸合电压”模型对结构执行吸合分析,来预测偏置系统变得不稳定的点。</li> <li>“偏压谐振器的瞬态响应”模型对向谐振器应用阶跃函数时结构的响应执行瞬态分析。</li></ul>

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: