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MEMS Modulex

随机表面的生成

这些示例演示如何生成随机几何表面。COMSOL Multiphysics® 软件提供一套功能强大的内置函数和运算符,例如用于均匀分布和高斯随机分布的函数以及非常有用的求和运算符。在与这些文件相关的博客文章“[如何在 COMSOL Multiphysics 中生成随机表面](/blogs/how-to-generate-random-surfaces-in-comsol-multiphysics/)”中,我们向您介绍如何使用“单行”表达式生成随机表面,并具体控制决定表面粗糙度性质的组成空间频率分量。 扩展阅读

微泵机理

微泵是微流体系统的关键部件,其应用范围从生物流体处理到微电子冷却等。 此模型模拟无阀微泵的机理,该微泵设计为在低雷诺数下有效,克服了流体动力学可逆性。无阀泵堵塞的风险最小,并且对生物材料很温和,因此在微流体系统中通常是首选部件。 使用*流-固耦合* 接口求解流体的流动及结构的相应变形。此外,使用*全局常微分和微分代数方程* 接口演示如何执行泵送循环中总流量的时间解析积分。 扩展阅读

表面微加工加速度计

此模型演示如何使用“机电”接口模拟电容驱动的表面微机械加速度计,它以 Stephen D. Senturia 编写的 Mcrosystem Design 一书中的案例研究(由 Kluwer Academic Publishers 出版,2003 年第 5 版,第 513 页 - 第 525 页)为基础。 扩展阅读

偏压谐振器的稳态分析 - 二维 中文

硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器,如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。 “偏压谐振器的稳态分析”模型对施加直流偏压 ... 扩展阅读

微电阻梁 中文

本例阐明在一个模型中耦合热、电及结构分析的功能。该特定 App 中,悬臂梁通入一个电流;电流产生热量,温度上升导致热膨胀,产生位移。此模型计算梁发生位移所需的电流和温升。尽管此模型涉及的只是相当简单的三维几何和直观的物理场,但它却是一个很好的多物理场建模示例。 扩展阅读

偏压谐振器的吸合电压 - 三维

本例在时域和频域中模拟静电驱动 MEMS 谐振器,该器件由施加在平行板电容器上的交流和直流偏压驱动。本例分析了谐振频率与直流偏压的相关性,并执行了频域和瞬态分析,来研究器件性能。 扩展阅读

复合薄膜体声波谐振器

体声波 (BAW) 谐振器在射频应用中可用作窄带滤波器。与传统的陶瓷电磁谐振器相比,其主要优势在于,由于声波长比电磁波长小得多,BAW 谐振器可以做得更小。 除了所需的体声波模式外,谐振器结构还可以包含许多间距较窄的寄生波模式。设计目标通常是尽可能提高主要元件的质量,同时减小寄生波模式的影响。 示例介绍如何使用特征频率分析和频率响应分析在二维模式下对薄膜体声波谐振器进行建模。 扩展阅读

厚度剪切模式石英振荡器

AT 切型石英晶体广泛应用于从振荡器到微量天平的各类应用领域,其重要特性之一是晶体的谐振频率与温度一阶不相关,这是质量传感和定时应用中需要用到的特性。AT 切型晶体在厚度剪切模式下振动,切割面上的外加电压在晶体内部产生剪切应力。示例分析 AT 切型厚度剪切振荡器的振动,重点讨论了系统在频域中的机械响应。其中详细介绍了使用各种标准建立 COMSOL 模型来定义压电材料方向(请注意,COMSOL 博客文章中介绍了这些标准的详细信息)。还分析了串联电容器对机械谐振的影响,添加串联电容是常用于调谐晶体振荡器的一项技术。 扩展阅读

External Material Examples, Structural Mechanics

A new way to specify user-defined material models is included in COMSOL Multiphysics version 5.2. For ... 扩展阅读

MEMS 器件中的热膨胀

此模型分析微陀螺等 MEMS 器件中的热膨胀,其中热膨胀应最小化,该器件由铜铍合金 UNS C17500 制成,并使用“材料库”中的温度相关材料属性。 此模型的目的是举例说明如何使用 COMSOL Multiphysics 中的“材料库”,该库包含 2500 种材料的 20,000 多个属性函数,其中大部分属性是作为温度的函数给定的固体材料的机械属性和热属性。您需要使用“材料库”来建立模型。 扩展阅读