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Plasma Modulex

双频电容耦合等离子体中功率沉积的谐波量

从时变静电场到电容耦合等离子体 (CCP) 中的电子的能量传递并不仅仅发生在两倍的 RF 频率处。由于从静电场到电子的功率传递的高度非线性机理,功率沉积发生在高于两倍驱动频率的频率处。对于双频电容耦合等离子体反应器,功率沉积的谐波量出现在许多不同频率处。 扩展阅读

GEC CCP 反应器一维模型 - 氩化学

NIST GEC CCP 反应器为研究电容耦合等离子体提供了平台。即使是最简单的等离子体模型也十分复杂,因此一维示例有助于理解物理场,而无需过多的 CPU 时间。 该问题没有稳态解,不过经过一定数量的 RF 循环(通常 >1000)后会达到周期稳态性。 扩展阅读

α 到 γ 过渡

电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作,具体取决于放电功率。在低功率状态(称为 α 态)下,电场振荡导致产生热量,并产生电子。在高功率状态(称为 γ 态)下,放电主要由鞘层内的电子雪崩维持,电子雪崩由离子轰击电极所发射的二次电子触发。此模型利用“等离子体,时间周期”接口研究大气压力下电容耦合射频放电中的 α 态和 γ 态以及这两种状态之间的过渡。 扩展阅读

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