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Plasma Modulex

离子能量分布函数

离子能量分布函数(IEDF)是求解自洽等离子体模型之后最有用的物理量之一。IEDF 的大小和形状取决于许多放电参数:压力、等离子体电位和鞘套宽度等。在非常低的压力下,可以认为等离子体鞘套不发生碰撞 ... 扩展阅读

微波微等离子体

维持在微尺度放电间隙中的等离子体能够以高电子数密度 (1020 m-3) 和功率密度 (109 W.m-3) 在高压(1 个大气压)下运动,同时保持相对较低的重粒子温度 ... 扩展阅读

氧气玻尔兹曼分析 中文

求解玻尔兹曼方程可用于验证电子碰撞截面,传统方法是通过求解玻尔兹曼方程的两项近似,并将结果与群集实验进行比较来推断碰撞截面的集合。本模型求解了玻尔兹曼方程的两项近似,并将计算得到的漂移速度和电子温度与实验数据进行了比较。 扩展阅读

氯放电全局模型 中文

含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局(体积平均)扩散模型研究氯等离子体放电,使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多,因此 ... 扩展阅读

无极灯 中文

此模型模拟了具有氩/汞化学性质的无极灯。汞原子的激发阈值较低,意味着即使汞的浓度很低,其特性也占主导地位。等离子体在 185 nm 和 253 nm 处发射出强紫外线,继而激发涂在灯泡表面的荧光粉。从电路角度来看 ... 扩展阅读

与两项玻尔兹曼方程耦合的直流辉光放电 中文

本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程,对直流辉光放电进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程,并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读

微调电容器

微调电容器具有可变电容,这种获得可变电容的方法是使用具有可变重叠区域的平行面对电极。本例中,我们通过使用螺丝刀转动一个电极来改变电容。通常预计会产生线性角响应。 微调电容器常用于高频应用,例如 ... 扩展阅读

α 到 γ 转变 中文

电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作,具体取决于放电功率。在低功率状态(称为 α 态)下,电场振荡导致产生热量,并产生电子。在高功率状态(称为 γ 态)下,放电主要由鞘层内的电子雪崩维持 ... 扩展阅读

双频电容耦合等离子体中功率沉积的谐波含量

从时变静电场到电容耦合等离子体 (CCP) 中的电子的能量传递并不仅仅发生在两倍的 RF 频率处。由于从静电场到电子的功率传递的高度非线性机理,功率沉积发生在高于两倍驱动频率的频率处。对于双频电容耦合等离子体反应器 ... 扩展阅读

GEC CCP 反应器,氩化学 - 一维

NIST GEC CCP 反应器为研究电容耦合等离子体提供了平台。即使是最简单的等离子体模型也十分复杂,因此一维示例有助于理解物理场,而无需过多的 CPU 时间。 该问题没有稳态解,不过经过一定数量的 RF 循环 ... 扩展阅读

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