电容耦合等离子体
Application ID: 23351
NIST 主办的气体电子学会议 (Gaseous Electronics Conference) 提供了一个研究电容耦合等离子体 (CCP) 反应器的平台，这是该 App 的基础。
电容耦合等离子体的工作原理与电感耦合等离子体不同。在 CCP 反应器中，在充满低压气体（通常压力为 1 Torr，此例中的气体为氩气）的小间隙施加正弦静电势来维持等离子体。功率沉积到 CCP 反应器的机理是高度非线性的，系统需要足够多的 RF 周期才能得出周期性稳态解。
在该 App 中，用户可以提供输入，配置等离子体和电介质的属性，也可以进行常规的操作输入，例如输入单元的物理尺寸、RF 周期数以及驱动频率和电压。
绘图显示上一个 RF 周期上的时间/周期平均数据和瞬时数据，以及激发态物质的演变，还提供了时间平均数据的动画。此外，CCP 模拟器还返回周期平均沉积功率和峰值电流。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。