COMSOL^® 中的等离子体仿真

等离子体是一种非常复杂的宏观电中性电离气体，其中所携带的带电粒子和中性粒子在电磁场作用下，产生电子和离子传输、碰撞化学反应、电磁、热传递和流体流动等多个物理场之间的强耦合相互作用。COMSOL Multiphysics^® 提供了等离子体仿真功能，可用于模拟各种工程领域中的非平衡和平衡放电现象，帮助工程师和研究人员设计等离子体反应器、研究电力和电子设备中的放电现象等。

在视频演示了如何使用 COMSOL 多物理场仿真软件对等离子体进行仿真，包括电气设备、半导体加工中涉及到的直流放电、电容耦合等离子体、电感耦合等离子体、微波等离子体，以及电弧等现象。

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