SUNY Albany Simulates Electrode Configurations

G. Potter
SUNY Albany, NY, USA

微流控器件是许多传感器的关键，例如流量传感器以及用于医学诊断的传感器。但由于其尺寸很小，使得流体的混合与抽取变得极具挑战性。作为传统驱动方法的替代方法，表面声波（SAW）可用来产生流体流动。在 SUNY Albany 和 SEMATECH 合作中，研究人员创建了模型并模拟了集成叉指换能器（IDT）结构，以及压电基片结构和 SAM 产生的谐波振动。他们使用 COMSOL Multiphysics 软件对影响器件几何优化的因素进行了研究，比如声流响应和谐振频率。他们通过仿真结果，证实了 SAW 的垂直位移越大对应的流动速度越高，而且他们的仿真结果与实验测量结果相吻合。