α 到 γ 转变

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电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作,具体取决于放电功率。在低功率状态(称为 α 态)下,电场振荡导致产生热量,并产生电子。在高功率状态(称为 γ 态)下,放电主要由鞘层内的电子雪崩维持,电子雪崩由离子轰击电极所发射的二次电子触发。此模型利用“等离子体,时间周期”接口研究大气压力下电容耦合射频放电中的 α 态和 γ 态以及这两种状态之间的过渡。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: