SF6/氩等离子体全局模型
Application ID: 131191
本例使用全局模型研究中等压力条件下的 SF6/氩等离子体反应器，并包含重粒子热方程的求解。通过对输入功率和氩摩尔分数进行参数化扫描，深入分析了反应器的性能变化。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。