直拉法晶体生长炉的热分析
Application ID: 124201
直拉法（Czochralski，CZ）是制备单晶硅的核心工艺之一。通过精准调控加热功率、拉速和晶体旋转速率，能够有效控制晶体的形状，尤其是其直径。
本模型演示了直拉法晶体生长炉的热分析过程。系统采用电加热器进行加热，并考虑了表面对表面辐射效应的影响。坩埚和晶体棒以相反方向旋转。尽管当前模型未考虑熔体流动的影响，但通过研究保护气体流动和对流传热，成功确定了维持晶体生长界面所需温度梯度的最佳参数。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。