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化学机械抛光 (CMP) 是一种关键的表面平坦化工艺,广泛应用于半导体制造和光学器件加工领域。 本模型耦合分析了 CMP 设备在抛光过程中,保持环内部的流场及研磨颗粒的运动。其中,抛光头的转动使用了冻结转子方法。 扩展阅读
涡流涉及绕轴稳定旋转的流动。在 COMSOL Multiphysics 中,我们并非对此过程进行三维建模,而是使用二维轴对称接口来建模,该接口的方程中仍包含旋转方向的流动。 本例阐明旋转圆柱对容器中流动的影响 ... 扩展阅读
此研究利用“CFD 模块”中的高马赫数流动 接口对超音速喷射器内的可压缩湍流进行建模。 喷射器是应用广泛的简单机械元件,其应用包括工业制冷、真空生成、气体再循环以及飞机推进系统中的推力增大。 ... 扩展阅读
本模型例证了“旋转机械”接口的使用,通过该接口,可以对搅拌槽、搅拌器和泵等设备中的旋转部件进行建模。 “旋转机械”接口在旋转坐标系中求解纳维-斯托克斯方程,其中未旋转的零件在固定材料坐标系中求解 ... 扩展阅读
本模型模拟了在 U 型结构表面沉积氧化铝薄膜的 ALD 沉积过程。该工艺采用三甲基铝 (TMA) 和水 (H2O) 作为气态前体,氮气作为吹扫气体。气态反应物依次被引入反应腔室,并在U型结构表面经历一系列吸附和化学反应 ... 扩展阅读
本例分析一根阴燃的香棒上方的空气自然对流。这种流动往往表现出从层流向湍流的过渡,可以通过香缓慢燃烧时产生的烟雾很好地呈现出来。模型中采用“非等温流动,LES RBVM”接口,并使用“流体流动颗粒跟踪 ... 扩展阅读
此模型使用“高马赫数流动”接口对收缩和扩张喷管中的高速湍流气流进行建模。此装置中包含超音速流动,其入口处的流动是亚音速,但由于收缩和较低的出口压力,流动加速并在喉部变为音速 (Ma = 1)。 ... 扩展阅读
