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本教学案例求解微波腔中产生的氢等离子体，并以自洽的方式计算流体流动和气体加热。 扩展阅读
硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器，如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。 “偏压谐振器的稳态分析 ... 扩展阅读
此模型介绍如何分析基于音叉的压电速率陀螺仪。 逆压电效应用于驱动平面内的音叉模态，该模态通过科里奥利力与面外模态相耦合，所得的面外运动由正压电效应感测。 音叉几何结构的设计使附近模态的特征频率在频率空间区分开 ... 扩展阅读
此模型介绍如何分析一个简单的、基于悬臂梁的压电能量采集器，其中向能量采集器施加了一个正弦加速度，计算了随频率、载荷阻抗及加速度大小变化的输出功率。 扩展阅读
弹性悬臂梁是 MEMS 设计中使用的基本结构之一。此模型演示悬臂梁在外加静电载荷作用下的弯曲，求解梁在外加电压作用下的变形。 扩展阅读
声表面波 (SAW) 是沿固体材料表面传播的声波，其振幅在材料深度方向上迅速衰减，通常呈指数衰减。 声表面波用于多种电子元件，包括滤波器、振荡器和传感器，声表面波器件通常将电极施加到压电材料 ... 扩展阅读
碳化硅 (SiC) 外延炉是专为生产和制备 SiC 外延片而设计的核心设备。本示例模型演示基于物理气相传输 (PVT) 法制备 SiC 外延片的过程。通过感应线圈加热 SiC 粉末，当温度达到特定值后，粉末开始升华 ... 扩展阅读