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本教学案例演示如何使用“参数估计”特征推导出 MEMS 谐振器的电路模型。这是一个使用“电路”接口创建的修正 Butterworth-Van Dyke 电路模型，用于表示“薄膜体声波谐振器”(FBAR)。其中使用 ... 扩展阅读
此模型演示如何使用“机电”接口模拟电容驱动的表面微机械加速度计，它以 Stephen D. Senturia 编写的 Mcrosystem Design 一书中的案例研究（由 Kluwer Academic ... 扩展阅读
固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在三维中模拟 SMR，其中通过附着在传感器表面的不同颗粒数来计算特征模态，分析灵敏度，并研究频率响应的相应变化 ... 扩展阅读
本模型演示如何分析基于音叉的压电速率陀螺仪。 逆压电效应用于驱动平面内的音叉模态，该模态通过科里奥利力与面外模态相耦合，所得的面外运动由正压电效应感测。 音叉几何结构的设计使附近模态的特征频率在频率空间区分开 ... 扩展阅读
许多压电材料是铁电性的。铁电材料在大的外加电场下表现出非线性极化特性，例如磁滞和饱和。此外，由于电致伸缩效应，这种材料的极化和机械变形可以实现强耦合。模型使用“铁电弹性”接口分析一个简单的由 PZT ... 扩展阅读
本例模拟电容式压力传感器，介绍如何模拟压力传感器在外加压力作用下的响应，以及如何分析封装应力对传感器性能的影响。 扩展阅读
压阻式压力传感器是第一批商业化的 MEMS 器件。与电容式压力传感器相比，这种传感器更易于与电子器件集成，响应更加线性，并且本身可以屏蔽 RF 噪声。不过，在工作过程中通常需要更多的功率 ... 扩展阅读
本教学案例由 Veryst Engineering, LLC. 的 James Ransley 博士提供。通过对基本模型“梳驱动音叉式微速率陀螺仪”（也由 Ransley 博士提供）进行扩展 ... 扩展阅读
模型通过“压电器件”预定义多物理场接口对基于悬臂梁运动的压电执行器执行静态分析，其灵感来自 V. Piefort 和 A. Benjeddou 的研究工作，它利用压电材料的剪切模式对夹层梁进行建模，使尖端发生偏转。 扩展阅读
本教程演示一款陀螺仪的工作原理，其设计基于 Veryst Engineering, LLC. 的 James Ransley 博士提供的方案，模型中采用了混合有限元格式的“静电”接口与“机电”进行耦合。 扩展阅读
