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本例使用全局模型研究中等压力条件下的 SF6/氩等离子体反应器,并包含重粒子热方程的求解。通过对输入功率和氩摩尔分数进行参数化扫描,深入分析了反应器的性能变化。 扩展阅读
化学气相沉积 (CVD) 是制造微芯片的重要步骤。其中一种常见的应用是低压下硅在晶片上的沉积,由于这个过程受到沉积动力学的限制,需要使用低压反应器获得气态物质的高扩散率,形成均匀的沉积厚度。 ... 扩展阅读
同轴电缆 (coax) 是最普遍的传输线结构之一。其中心为圆导体,周围环绕有环形电介质,外部由导体屏蔽。本模型计算了同轴电缆内部的电场和磁场分布,分析了阻抗,并将结果与解析解进行了比较。 扩展阅读
在本 App 中,溶液泵入催化床,溶质类物质在催化床中与催化剂接触时发生反应。示例的目的是通过确定最优催化剂分布,将催化床的给定总压差的总反应速率最大化。多孔催化剂的分布决定了催化床中的总反应速率 ... 扩展阅读
在机械组件中,连接零件有时要求零件可以在一个或多个自由度上相对于彼此自由移动,这种连接的典型应用包括球接头、铰链和各类轴承。如果连接的详细信息不是分析的主题,则通常可以使用 COMSOL Multiphysics 中的 ... 扩展阅读
本模型通过求解两项近似玻尔兹曼方程来研究氮气和氧气混合物(背景干空气),并通过在电子碰撞截面上对电子能量分布函数进行适当积分来计算电子传递系数和源项。此外,本例还演示如何准备可导出的电子能量分布函数,以便用于“等离子体 ... 扩展阅读
