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压阻式压力传感器是第一批商业化的 MEMS 器件。与电容式压力传感器相比,这种传感器更易于与电子器件集成,响应更加线性,并且本身可以屏蔽 RF 噪声。不过,在工作过程中通常需要更多的功率 ... 扩展阅读
本例模拟电容式压力传感器,介绍如何模拟压力传感器在外加压力作用下的响应,以及如何分析封装应力对传感器性能的影响。 扩展阅读
随着外加场平行分量的增大,载流子可以获得高于环境热能的能量,并且能够通过光学声子发射将场获得的能量传递到晶格。光学声子发射产生的效应导致载流子迁移率饱和。Caughey Thomas ... 扩展阅读
该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP,其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置,以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外 ... 扩展阅读
本教学案例将文献中的实验数据与包含界面陷阱(表面状态)的 MOSCAP COMSOL 模型求解结果进行比较,其中使用“陷阱辅助表面复合”特征模拟陷阱电荷的影响以及陷阱捕获和发射载流子的过程 ... 扩展阅读
此教学案例演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。通过时间周期 研究计算等离子体的时间周期解,随后,将解转换为时域解,再调用快速傅里叶变换 (FFT) 求解器,这样可以针对给定的一组输入参数计算等离子体阻抗 ... 扩展阅读