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此教学案例演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。通过时间周期 研究计算等离子体的时间周期解,随后,将解转换为时域解,再调用快速傅里叶变换 (FFT) 求解器,这样可以针对给定的一组输入参数计算等离子体阻抗 ... 扩展阅读
此模型演示如何使用“机电”接口模拟电容驱动的表面微机械加速度计,它以 Stephen D. Senturia 编写的 Mcrosystem Design 一书中的案例研究(由 Kluwer Academic ... 扩展阅读
浸在海水中的钢结构可通过阴极保护的方法来免受腐蚀,这种保护可以通过外加电流或使用牺牲阳极来实现。其中牺牲阳极方法较为简单,因此通常是首选方法。本案例展示了如何模拟使用牺牲铝阳极的石油平台防腐蚀系统 ... 扩展阅读
本教学案例解释如何通过稳态源扫描 研究来提取集总矩阵。其中使用五终端系统的电容矩来推断金属物体的位置,类似于现实世界中的电容式位置传感器。 本例说明了静电 接口支持的有限元法的使用。使用有限元法时 ... 扩展阅读
This tutorial studies the etching of silicon using an inductively coupled plasma reactor with an RF bias in a ... 扩展阅读
本例使用全局模型研究中等压力条件下的 SF6/氩等离子体反应器,并包含重粒子热方程的求解。通过对输入功率和氩摩尔分数进行参数化扫描,深入分析了反应器的性能变化。 扩展阅读
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局(体积平均)扩散模型研究氯等离子体放电,使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多,因此 ... 扩展阅读
该模型模拟全息页面数据存储系统。 研究包括记录过程和检索过程。 加密 8 位数据的物光束通过傅里叶透镜(傅里叶变换)聚焦到全息材料中。 在记录过程中,物光束和参考光束相交,形成干涉条纹图样,这就是页面全息图。 ... 扩展阅读
本例中的纳米线 MOSFET 三维模型使用密度梯度理论在传统的漂移-扩散公式中引入量子限域效应,而不需要过高的计算成本。其中使用几何域对氧化层进行显式模拟,并通过专用的边界条件来分析氧化硅界面的量子限域 ... 扩展阅读
