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求解玻尔兹曼方程可用于验证电子碰撞截面，传统方法是通过求解玻尔兹曼方程的两项近似，并将结果与群集实验进行比较来推断碰撞截面的集合。本模型求解了玻尔兹曼方程的两项近似，并将计算得到的漂移速度和电子温度与实验数据进行了比较。 扩展阅读
本例模拟 CUP-PLATER 反应器中电阻晶片上的瞬态铜沉积。随着沉积层加厚，其电阻损耗减小。本例演示如何使用电流分流电极获得更均匀的沉积。 扩展阅读
本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对直流辉光放电进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
兰姆波谐振器作为射频应用中的核心元件，在通信、传感等领域发挥着至关重要的作用。 本例演示如何对氮化铝兰姆波谐振器进行建模仿真，并通过特征频率和频率响应分析，全面表征该器件的性能。 本教程使用多层壳中的电流 和多层壳 ... 扩展阅读
本教学案例求解微波腔中产生的氢等离子体，并以自洽的方式计算流体流动和气体加热。 扩展阅读
分形是一种显示自重复模式的数学形式。凭借其几何属性，分形结构可以在射频应用中产生复谐振。这个天线模型采用三阶 Sierpinski 三角形，计算得出的 S 参数在较高阶谐振时具有良好的输入匹配。 扩展阅读
