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此模型介绍如何分析基于音叉的压电速率陀螺仪。 逆压电效应用于驱动平面内的音叉模态，该模态通过科里奥利力与面外模态相耦合，所得的面外运动由正压电效应感测。 音叉几何结构的设计使附近模态的特征频率在频率空间区分开 ... 扩展阅读

感应元件在高频下会产生导体之间的电容耦合。模拟这种现象时，需要描述与导线平行和垂直的电场分量。这种分析可能会得出以下结论：即使线圈呈螺旋状，也总是需要三维模型才能对这种现象进行建模，但实际上并非如此。 ... 扩展阅读

离子敏场效应晶体管 (ISFET) 是用适当的电解质取代 MOSFET 的栅极触点构建的。电解质中特定离子种类的浓度可以通过测量由离子与栅极电介质之间的相互作用引起的栅压变化来确定。 此 ISFET pH ... 扩展阅读

本例说明层流下二维几何结构的湿法化学蚀刻原理。本教学案例的目的是研究湿法蚀刻过程中铜基质材料如何耗尽，以及腔体形状如何演变。湿法化学蚀刻对于微电子工业中集成电路、MEMS 器件、光电子和压力传感器的图案设计尤其重要 ... 扩展阅读

此模型演示如何将流动模型耦合到过程控制机制。 在程序工程中，根据其他应用参数来控制应用参数是非常重要的，大多数控制机构都使用壁或出口处的数据来控制入口参数，如果可以根据组件或设备的数据控制入口参数 ... 扩展阅读

这是一个简单光声谐振器的模型。脉动激光对气体加热，导致气体膨胀和收缩，产生压力波。这种装置用作测量谐振器内气体材料参数的传感器，系统的谐振频率取决于谐振器中的气体。 模型使用“热黏性声学，频域 ... 扩展阅读

硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器，如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。 “偏压谐振器的稳态分析 ... 扩展阅读

热电臂是热电制冷器或加热器中的基本元件。例如，常见的热电偶就是由两个热电臂构成：一个由 p 型半导体材料制成，另一个由 n 型半导体材料制成，二者是电串联，热并联的关系。 扩展阅读

压膜气体阻尼是许多 MEMS 换能器和执行器中的关键要素。以加速度计为例，当受到惯性作用时，器件能够检测到相应的运动。其典型的结构是将一个较大的质量块通过弹性梁与周围结构相连，形成一个具有特定共振频率的机械振荡器。然而 ... 扩展阅读

在水面或水下行驶的潜艇会在地磁场中产生可检测到的局部扰动，这些扰动可用于触发武器系统。根据潜艇磁属性的先验知识，可以通过产生一个强度相当、方向相反的反向磁场来减弱潜艇的磁信号。 在此模型中 ... 扩展阅读