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本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程,对直流辉光放电进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程,并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
此模型计算商用电容耦合等离子体反应器的离子能量分布函数 (IEDF),结果与实验数据非常一致。 扩展阅读
本模型通过求解两项近似玻尔兹曼方程来研究氮气和氧气混合物(背景干空气),并通过在电子碰撞截面上对电子能量分布函数进行适当积分来计算电子传递系数和源项。此外,本例还演示如何准备可导出的电子能量分布函数,以便用于“等离子体 ... 扩展阅读
此模型提出了通过电子的共振加热维持的二维轴对称偶极微波等离子体源,这称为电子回旋共振 (ECR),在适当的高磁通密度与微波同时存在时发生。 这是一个高级模型,展示 COMSOL 的多项独特功能,包括: ... 扩展阅读
本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器,并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
本模型分析微镜在空气中的工作情况以及热黏性阻尼对振动响应的影响,其中包含结构中的热损失和热黏性声学现象。该模型使用热黏性-热弹性边界 多物理场耦合将热弹性力学 多物理场接口耦合到热黏性声学,频域。 扩展阅读
本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器(也称为 ICP/CCP 反应器),其中计算了流体流动和气体加热,并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读