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本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器（也称为 ICP/CCP 反应器），其中计算了流体流动和气体加热，并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读
本教学案例求解氩气/氧气混合物中的电感耦合等离子体反应器。该模型计算流体流动和气体加热，并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
本教学案例求解微波腔中产生的氢等离子体，并以自洽的方式计算流体流动和气体加热。 扩展阅读
此模型计算商用电容耦合等离子体反应器的离子能量分布函数 (IEDF)，结果与实验数据非常一致。 扩展阅读
在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部，并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压 (20 mtorr) 氩气，气体从两个 2 ... 扩展阅读
本教学案例的研究演示在点对面配置情况下，干燥空气在一个大气压条件的负电晕放电。具有毫米尺寸的椭圆电极在发生电晕放电的位置产生了高强度电场。接地平面放置在距离电晕电极 10 cm 处，电压在 -5 到 -50 kV ... 扩展阅读
本教学案例演示如何使用“感应/直流耦合放电”接口来模拟脉冲电弧中产生的等离子体。这种建模技术可用于广泛的工业应用，包括切割、焊接、喷涂、废物销毁和表面处理。 扩展阅读
