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在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部，并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压 (20 mtorr) 氩气，气体从两个 2 ... 扩展阅读
本教学案例演示如何使用“感应/直流耦合放电”接口来模拟脉冲电弧中产生的等离子体。这种建模技术可用于广泛的工业应用，包括切割、焊接、喷涂、废物销毁和表面处理。 扩展阅读
本教学案例的研究演示在点对面配置情况下，干燥空气在一个大气压条件的负电晕放电。具有毫米尺寸的椭圆电极在发生电晕放电的位置产生了高强度电场。接地平面放置在距离电晕电极 10 cm 处，电压在 -5 到 -50 kV ... 扩展阅读
本模型研究了大气压条件下电感耦合等离子体炬的电学和热学特性，其中假设放电过程处于局部热力学平衡状态。 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解，计算了流体流动和气体加热过程。此外，还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
本模型演示如何利用形状优化功能，对 ICP 反应器的线圈进行设计，实现均匀的等离子体分布。其中以线圈沿径向分布的平面 ICP 反应器作为研究对象，通过“优化”研究步骤来确定线圈的最佳空间布局 ... 扩展阅读
本教学案例求解微波腔中产生的氢等离子体，并以自洽的方式计算流体流动和气体加热。 扩展阅读
本模型验证了在 51.8kV 下，由大气压下的干空气分离的两个相距 2cm 的球体之间开始形成流注。通过沿两个球体之间的电场线对汤森系数进行积分来检测电击穿。当积分后的汤森系数达到一定的阈值时，就会形成流注，从而造成短路。 扩展阅读
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电，使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多，因此 ... 扩展阅读
本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器，并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
