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微波加热导致的放电可以非常简单，例如使用波导将平面波引导到反应器中，也可以非常复杂，例如在 ECR（电子回旋共振）反应器中的放电。在本案例中，微波发射到反应器中，产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射，维持等离子体。 扩展阅读
表面化学反应通常是反应流建模中被忽视的方面。这个教学案例演示如何将表面反应和物质添加到化学气相沉积 (CVD) 这类研究过程中，随后模拟硅在晶片上的生长。 最初，使用全局模型来研究包含复杂化学物质的广泛参数区域。然后 ... 扩展阅读
此模型提出了通过电子的共振加热维持的二维轴对称偶极微波等离子体源，这称为电子回旋共振 (ECR)，在适当的高磁通密度与微波同时存在时发生。 这是一个高级模型，展示 COMSOL 的多项独特功能，包括： ... 扩展阅读
本教学案例求解微波腔中产生的氢等离子体，并以自洽的方式计算流体流动和气体加热。 扩展阅读
本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器（也称为 ICP/CCP 反应器），其中计算了流体流动和气体加热，并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读
此模型利用等离子体，时间周期 接口对美国国家标准与技术研究院 (NIST) 气体电子会议 (GEC) 参比电池进行二维研究。二维示例有助于理解物理场，而不会消耗过多的 CPU 时间。 该参比电池由固定功率驱动 ... 扩展阅读