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此模型利用等离子体，时间周期 接口对美国国家标准与技术研究院 (NIST) 气体电子会议 (GEC) 参比电池进行二维研究。二维示例有助于理解物理场，而不会消耗过多的 CPU 时间。 该参比电池由固定功率驱动 ... 扩展阅读
本教学案例的研究演示在点对面配置情况下，干燥空气在一个大气压条件的负电晕放电。具有毫米尺寸的椭圆电极在发生电晕放电的位置产生了高强度电场。接地平面放置在距离电晕电极 10 cm 处，电压在 -5 到 -50 kV ... 扩展阅读
本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器，并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电，使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多，因此 ... 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解，计算了流体流动和气体加热过程。此外，还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
此模型提出了通过电子的共振加热维持的二维轴对称偶极微波等离子体源，这称为电子回旋共振 (ECR)，在适当的高磁通密度与微波同时存在时发生。 这是一个高级模型，展示 COMSOL 的多项独特功能，包括： ... 扩展阅读
本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对直流辉光放电进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。EEDF 存在解析形式，如麦克斯韦或 Druyvesteyn，但在某些情况下，解析形式不适合放电物理场。 ... 扩展阅读
