电容耦合等离子体的建模与仿真

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COMSOL® 为电容耦合等离子体的建模仿真提供了一种革命性的新算法,与传统的等离子体仿真方法相比,这种基于周期性准稳态解的方法能够极大地提升计算效率。此外,这种方法还可计算直流自偏压,并且可以很方便的定义匹配电路。在提高计算效率的同时,还求解了静电以及物质之间的非线性耦合现象,无需对电容耦合等离子体问题进行任何简化和假设。