使用 COMSOL Multiphysics® 模拟 MEMS 加速度计和陀螺仪
时长： 1:00:13
本次视频展示了如何使用 COMSOL Multiphysics® 软件对 MEMS 加速度计和陀螺仪进行仿真，还通过典型案例的演示，说明 COMSOL 软件对涉及静电和固体力学耦合的此类 MEMS 器件的仿真步骤。
相关案例：
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