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在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部，并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压 (20 mtorr) 氩气，气体从两个 2 ... 扩展阅读
表面微机械加工的薄膜经常受到残余应力的影响。该 COMSOL Multiphysics 示例描述了带有直悬臂梁或折叠悬臂梁弹簧的薄膜谐振器，谐振器的谐振频率受热应力的影响，使用折叠弹簧减轻这种影响。 ... 扩展阅读
在此模型中，包含永磁体和非线性磁性材料的转子在相同磁性材料的定子内旋转。 定子周围绕组中产生的电压根据时间来计算。COMSOL Multiphysics 对通过装配和一致对进行的旋转进行建模， ... 扩展阅读
本模型研究了大气压条件下电感耦合等离子体炬的电学和热学特性，其中假设放电过程处于局部热力学平衡状态。 扩展阅读
共面波导 (CPW) 带通滤波器可以使用叉指电容器 (IDC) 和短路短截线电感器 (SSI) 来设计，这是一种非常有效的制造带通滤波器方法，很容易在砷化镓晶片上实现。 本教学案例给出了一种较谐振频率而言较紧凑的设计 ... 扩展阅读
本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器（也称为 ICP/CCP 反应器），其中计算了流体流动和气体加热，并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读
本教学案例是一个简单的示例，介绍如何使用多层壳功能为压电器件建模。 本例研究了两种材料取向的情况。在第一种情况下，极轴垂直于壳表面，这导致变形的壳的厚度发生变化。在第二种情况下，极轴与壳相切，这导致壳发生弯曲。 扩展阅读
碳化硅 (SiC) 外延炉是专为生产和制备 SiC 外延片而设计的核心设备。本示例模型演示基于物理气相传输 (PVT) 法制备 SiC 外延片的过程。通过感应线圈加热 SiC 粉末，当温度达到特定值后，粉末开始升华 ... 扩展阅读