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氯放电全局模型

含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局(体积平均)扩散模型研究氯等离子体放电,使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多,因此,这种模型成为研究大型反应序列和扩展参数区域的理想选择。 “氯放电”模型研究 50 到 600 瓦的吸收功率,工作压力为 1 到 100 毫托。电子密度、电子温度和氯原子密度等多个相关物理量的模型结果与文献中电感耦合等离子体反应器中的测量结果非常一致。

非恒定载荷作用下的一次蠕变

在示例中,您将研究非恒定载荷作用下材料的蠕变特性。您将使用 Norton-Bailey 定律对一次蠕变建模,并研究 COMSOL Multiphysics 提供的瞬态硬化方法与应变硬化方法之间的差异。 模型取自 NAFEMS 的 Understanding Non-Linear Finite Analysis Through Illustrative Benchmarks。载荷由单轴和双轴阶跃载荷组成,阶跃载荷出现在研究时间过去一半之后。我们关注的值是蠕变应变随时间的变化。将计算得出的解与参考文献中给出的解析解进行了比较。

母线板焦耳热

“母线板焦耳热效应”教学案例演示如何在 Solid Edge 和 COMSOL 之间同步装配、如何修改 COMSOL 中的几何结构,以及如何运行几何参数化扫描。

How to Export Images Automatically After Solving

本例演示如何使用参数化切面图和动画功能导出一系列图像。此外,本例还展示如何使用作业序列来执行编程操作序列,其中首先求解模型,然后生成图像序列并将保存到文件中,所有这些都是自动完成的。 在与这些文件相关联的博客文章“[如何在求解模型后自动导出图像](/blogs/how-to-export-images-automatically-after-solving-your-model/)”中,我们更深入地探讨这个功能。展示的功能具有普遍意义,任何应用领域都适用。

GEC CCP 反应器一维模型 - 氩化学

NIST GEC CCP 反应器为研究电容耦合等离子体提供了平台。即使是最简单的等离子体模型也十分复杂,因此一维示例有助于理解物理场,而无需过多的 CPU 时间。 该问题没有稳态解,不过经过一定数量的 RF 循环(通常 >1000)后会达到周期稳态性。

母线板装配中的焦耳热

“母线板焦耳热效应”教学案例演示如何在 Inventor 和 COMSOL 之间同步装配,如何从 COMSOL 修改几何,以及如何运行几何参数化扫描。

绝缘体厚度效应

在实际工程中,经常采用铝 (Al) 绝缘体来减轻镁合金 (Mg) 与低碳钢 (MS) 之间的电偶腐蚀。本模型演示了如何使用参数化研究来分析铝绝缘体厚度对电偶腐蚀严重程度的影响。这里使用文献中的实验极化数据实现电极动力学。

Carburizing of gears

该模型演示如何模拟渗碳,这是一种产生耐磨表面的热处理工艺。模型求解固体传热、碳扩散以及奥氏体到马氏体和珠光体的相变。

α 到 γ 过渡

电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作,具体取决于放电功率。在低功率状态(称为 α 态)下,电场振荡导致产生热量,并产生电子。在高功率状态(称为 γ 态)下,放电主要由鞘层内的电子雪崩维持,电子雪崩由离子轰击电极所发射的二次电子触发。此模型利用“等离子体,时间周期”接口研究大气压力下电容耦合射频放电中的 α 态和 γ 态以及这两种状态之间的过渡。

多个石油平台的腐蚀防护

本例通过模拟阵列中多个石油平台的影响,扩展了单个石油平台示例的防腐蚀系统分析。 其中使用“边上电流分布,BEM”接口,通过将所有电极模拟为沿框架几何边的圆柱,显著缩小了问题规模,大大减少了计算时间。