了解多物理场仿真在基础研究和产品设计中的应用
各个行业的工程师和科研人员都在使用多物理场仿真来研发创新的产品设计和流程。他们在 COMSOL 用户年会上展示了丰富的技术论文和演示文稿,您可以从他们的研究成果中寻找灵感。
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为深入探究材料属性对电弧等离子体热力学特性的影响,本研究以反应烧结碳化硅(RB-SiC)陶瓷为研究对象,基于 COMSOL Multiphysics 建立了耦合电流、磁场、层流及流体传热的磁流体动力学模型 ... 扩展阅读
在干法刻蚀工艺中,刻蚀腔室内部可能存在带电尘埃颗粒,研究带电微粒在等离子体中的行为,以及带电微粒对等离子体的影响具有一定的实用价值。本研究引入层流、等离子体时间周期和流体流动颗粒追踪物理场 ... 扩展阅读
前期研究中,我们设计了基于准同轴结构的微波等离子体无极灯 [1]。该结构以激发后的等离子体作为同轴内导体,法拉第笼作为外导体。仿真结果显示,电磁波在等离子体 - 金属构成的准同轴波导中传播时 ... 扩展阅读
电感耦合等离子体是一种将外部电源提供的能量经电感线圈以电磁场的形式耦合传递给等离子体以维持等离子体放电的技术。本文在原有电感耦合等离子体源的基础结构上,通过在放电腔室外放置若干个闭合铁氧体磁芯 ... 扩展阅读
本研究基于COMSOL Multiphysics多物理场仿真平台,利用等离子体模块构建了等尺寸二维自洽流体模型,结合实验深入探究了辅助脉冲电压(APV)对大气压等离子体射流(APPJ)中电离波传播动力学特性的调控机理 ... 扩展阅读
在半导体增材制备的过程中,磁控溅射,使用电离的氩离子轰击靶材形成等离子气团,进而扩散转移到晶圆表面是一种常见的增材加工工艺。许多的MEMS应用和先进封装技术中常会通过偏转靶材和衬底的相对夹角进行溅射镀膜 ... 扩展阅读
通过COMSOL多物理场仿真软件,采用磁流体近似模型,进行等离子体模型建立时,首先建立二维轴对称几何模型,定义内置材料,设置等离子体内部反应方程式以及边界条件,其次进行网格剖分,最后通过研究和计算,得出仿真结果 ... 扩展阅读
微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD)是一种用于薄膜沉积的技术,主要用于制造高质量的薄膜和涂层。这项技术包括:(1)使用微波激发等离子体(通常在2.45GHz或915MHz)。(2)等离子体中的气相反应与表面反应。 ... 扩展阅读
电磁辐射对燃油危害是加油站、炼油厂、油气基地等大型设施禁用手机和其他无线通讯设备的重要原因。不同于静电对燃油蒸气的危害,本文的研究重点在于分析不同频率下的射频放电击穿特性。基于射频等离子体鞘层模型,通过多物理场仿真 ... 扩展阅读
摘要 目的:大气压非平衡等离子体技术在食品安全方面凸显巨大潜力。探究空气 DBD 等离子体对苹果表面细菌生物膜的影响。方法:利用 COMSOL 软件建立二维空气 DBD 仿真模型,通过设定细菌生物膜的电导率和介电常数 ... 扩展阅读
