主题演讲：真空传感器仿真

Name: 主题演讲：真空传感器仿真
Uploaded: 2024-02-22 14:48:02
Duration: 27 min 29 s
Description: See how INFICON uses simulation to develop a better ionization gauge for measuring pressure in high-vacuum environments. Watch the keynote video.

时长： 27:29

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视频简介
脚本

半导体芯片制造和量子计算的先进生产过程均依赖于高真空环境。在 COMSOL 用户年会 2023 慕尼黑站的主题演讲中，来自 INFICON 的 Martin Wüest 博士讨论了如何借助多物理场仿真开发一种性能更优的，用于测量高真空环境压力的电离真空计 IRG080。

在重点介绍创新地 IRG080 技术之前，Wüest 首先介绍了 INFICON 公司以及真空技术的广泛应用。然后，他简要介绍了他的团队进行的模拟，包括真空压力传感器的力学模拟和印刷电路板的热模拟。在演讲的后半部分，他重点介绍了 IRG080 的开发和设计，这是第一个适合作为真空计和质谱仪校准参考标准的电离真空计。

Martin Wüest 在瑞士伯尔尼大学（University of Bern）获物理学博士学位，目前是列支敦士登 INFICON 公司真空控制业务部门的传感器技术主管。