差动泵浦
Application ID: 14313
压差真空系统使用小孔或管来连接真空系统中两个压力相差较大的部分。当工艺在较高压力下运行，并且由需要 UHV 才能运行的检测器进行监控时，需要使用这种系统。在模型中，使用流率的解析式对气流通过狭窄管道流入高真空室的过程作近似处理。还可以适当修改该模型来直接使用实验数据。将通过解析模型与“自由分子流”接口相耦合得到的结果与在系统的管道和 UHV 部分包含自由分子流的仿真进行了比较。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。