带射频偏压的 CF4/O2 电感耦合等离子体反应器模型（用于硅刻蚀）
Application ID: 142031
本教学案例模拟了在 CF4/O2 混合气体环境中，采用带射频偏压的电感耦合等离子体反应器进行硅刻蚀的过程。模型计算了沿晶圆分布的刻蚀速率，并分析其随射频偏压的变化关系。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。