热执行器的开关控制

Application ID: 74261


本例演示了一款通过热膨胀实现驱动的多晶硅双热臂热执行器模型。通过焦耳热(电阻热)获得使臂发生变形并带动执行器产生位移所需的温升,且在工作过程中,热臂的膨胀量显著大于冷臂,促使执行器发生弯曲。

本例在 Simulink® 中实现了一个开关控制器,用于调节外加电势,确保执行器尖端的最大位移保持在 39 到 41 um 的目标区间内。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: