麦克风振膜形状优化
Application ID: 143361
本模型演示如何通过“形状优化”调整 MEMS 麦克风振膜的最低固有频率。其中采用“先稳态，后特征频率”研究，对用于支撑振膜的悬挂弹簧的几何形状进行修改。尽管模型为三维结构，但根据 MEMS 制造工艺的要求，形状变化被限制在 xy 平面内进行。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。