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本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器,并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
混合模式 S 参数描述通过以下两种模式激励和终止平衡端口时,电路的响应情况:共模和差模。其中使用四端口网络的全 S 参数矩阵来计算响应,该网络由四个单端线路组成。本例分析两个相邻的微带线并计算混合模式 S 参数。 扩展阅读
此模型提出了通过电子的共振加热维持的二维轴对称偶极微波等离子体源,这称为电子回旋共振 (ECR),在适当的高磁通密度与微波同时存在时发生。 这是一个高级模型,展示 COMSOL 的多项独特功能,包括: ... 扩展阅读
本模型演示以 Brewster 角入射在两种介质界面的高斯光束的偏振属性。 其中介绍如何使用“电磁波,波束包络”物理场接口和用户定义的相位规范,“匹配边界条件”特征用于吸收在非法向方向入射到边界的波。 扩展阅读
本模型演示如何将半导体 接口与固体传热 接口相耦合,对现有的双极晶体管模型在正向有源构型下工作的情况进行热分析。 半导体 接口用于计算器件内载流子的动力学和电流,并输出电过程产生的加热项。该加热项在物理场传热 ... 扩展阅读
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局(体积平均)扩散模型研究氯等离子体放电,使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多,因此 ... 扩展阅读
通过自由空间传播的平面电磁波以一定角度入射到无限电介质。此模型计算反射系数和透射系数,并将结果与菲涅尔方程进行了比较。 扩展阅读
兰姆波谐振器作为射频应用中的核心元件,在通信、传感等领域发挥着至关重要的作用。 本例演示如何对氮化铝兰姆波谐振器进行建模仿真,并通过特征频率和频率响应分析,全面表征该器件的性能。 本教程使用多层壳中的电流 和多层壳 ... 扩展阅读
