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本例在时域和频域模拟静电驱动 MEMS 谐振器,该装置由平行板电容器上施加的交流 + 直流偏压驱动。其中评估谐振频率与直流偏压的相关性,并执行频域和瞬态分析来研究该装置的性能。 扩展阅读
电容式微机械超声换能器 (CMUT) 是一种微型接收器,可以将超声波转换为用于高分辨率成像应用的电信号。这种 CMUT 设计具有优化的力-位移特性,以提高转换效率。改进的核心是位移均匀性因子,可以通过“频域,预应力 ... 扩展阅读
固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器,通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在二维中模拟 SMR,其中计算了特征模态,并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应 ... 扩展阅读
兰姆波谐振器在许多射频应用中扮演着关键的角色。本教学案例演示如何对氮化铝兰姆波谐振器进行建模仿真,通过特征频率和频率响应分析来全面了解其特性。 扩展阅读
本例模拟电容式压力传感器,介绍如何模拟压力传感器在外加压力作用下的响应,以及如何分析封装应力对传感器性能的影响。 扩展阅读