声表面波气体传感器

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声表面波 (SAW) 是沿固体材料表面传播的声波,其振幅在材料深度方向上迅速衰减,通常呈指数衰减。

声表面波用于多种电子元件,包括滤波器、振荡器和传感器,声表面波器件通常将电极施加到压电材料,以便将电信号转换为声表面波,然后再转换回电信号,声表面波响应提供要使用此器件收集的信息。

此模型研究声表面波气体传感器的共振频率,该传感器由蚀刻在压电基片上的覆盖一层薄膜的叉指换能器组成,随着薄膜材料选择性地吸收空气中的化学物质,薄膜的质量增加,这导致共振频率略有下降,因此,有关空气中物种数量的信息也减少。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: