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本模型分析了由悬挂在介电层上方的薄微机械桥构成的 RF MEMS 开关。在开关上施加大于吸合电压的直流电压时，机械桥塌向介电层，从而使器件的电容增大。模型中使用了基于罚函数的方法来模拟接触力 ... 扩展阅读

本教学案例展示如何使用用户定义的坐标系来创建压电材料的任何类型的定向极化，给出了压电盘径向极化的结果。压电材料为 PZT-5H，本例演示静态分析，显示了柱坐标系的可视化效果以及该坐标系中的应力/应变。 扩展阅读

此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何计算压电 MEMS 器件的 S 参数。S 参数的测量通常用于描述 RF 应用中这种器件的特征。通过“静电”物理场接口中的终端特征 ... 扩展阅读

压电阀响应速度快且运行安静，因此常用于医学应用和实验室，其节能运行消耗的热量也非常少，这对于这些应用来说非常重要。 此模型介绍如何在 COMSOL 中对压电阀建模。阀由层叠压电致动器致动 ... 扩展阅读

本例是由 Veryst Engineering, LLC. 的 James Ransley 博士提供的梳驱动音叉陀螺仪教学案例，演示完全参数化的几何，广泛使用各种选择特征，实现了机电力和响应计算的解析公式 ... 扩展阅读

这是一个教学案例，介绍如何使用 COMSOL“MEMS 模块”中的“机电”接口对电致伸缩建模。电致伸缩材料（如 PMN-PT）表现出随电场变化的非线性应变。 ... 扩展阅读

本教学案例演示如何使用“参数估计”特征推导出 MEMS 谐振器的电路模型。这是一个使用“电路”接口创建的修正 Butterworth-Van Dyke 电路模型，用于表示“薄膜体声波谐振器”(FBAR)。其中使用 ... 扩展阅读

这个二维轴对称模型演示用于测量激光能量的仪器中发现的热释电探测器的工作原理。 一个铌酸锂 (LiNbO3) 圆盘被夹在两个电极之间，并连接到外部电路，然后安装在一个热传导有限的环形导电垫上 ... 扩展阅读

本例模拟单极静电吸盘上 4 英寸晶圆的压力相关加热。该晶圆在环的顶部被静电力压住，以抵抗在晶片与吸盘表面之间的间隙中流动的气体产生的向上压力。这是一个包含 4 个耦合物理场（SM、ES、LF 和 HT）和动网格的问题 ... 扩展阅读

兰姆波谐振器在许多射频应用中扮演着关键的角色。本教学案例演示如何对氮化铝兰姆波谐振器进行建模仿真，通过特征频率和频率响应分析来全面了解其特性。 扩展阅读