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本例模拟单极静电吸盘上 4 英寸晶圆的压力相关加热。该晶圆在环的顶部被静电力压住，以抵抗在晶片与吸盘表面之间的间隙中流动的气体产生的向上压力。这是一个包含 4 个耦合物理场（SM、ES、LF 和 HT）和动网格的问题 ... 扩展阅读

固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在二维中模拟 SMR，其中计算了特征模态，并分析了 500 到 1200 MHz 的频率响应 ... 扩展阅读

许多压电材料是铁电性的。铁电材料在大的外加电场下表现出非线性极化特性，例如磁滞和饱和。此外，由于电致伸缩效应，这种材料的极化和机械变形可以实现强耦合。模型使用“铁电弹性”接口分析一个简单的由 PZT ... 扩展阅读

在薄结构中产生弹簧状结构或引起曲率的一种方法是将结构电镀到受残余应力影响的基板上。 即使是类似的材料，电镀工艺也可以控制这一应力。静电控制微镜就是这样一种器件，这种器件通常非常小，并且其阵列可以在投影仪中实现。 ... 扩展阅读

本教学案例展示如何使用用户定义的坐标系来创建压电材料的任何类型的定向极化，给出了压电盘径向极化的结果。压电材料为 PZT-5H，本例演示静态分析，显示了柱坐标系的可视化效果以及该坐标系中的应力/应变。 扩展阅读

MEMS 扫描镜是一种通过微驱动器控制镜面单轴或双轴扭转来实现光路控制的 MEMS 器件，广泛应用于激光投影、激光雷达以及激光加工等领域。本例通过解析公式来计算静电驱动的扭矩，以此替代动网格方法 ... 扩展阅读

模型比较了采用虚功 和麦克斯韦应力张量 方法计算的轴向磁轴承上的电磁力，通过研究小位移对系统电磁能的影响来计算力，这是使用磁场、变形几何 及灵敏度 物理场接口实现的。 扩展阅读

此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何根据仿真结果创建散射图。散射曲线可以根据波数的实值和虚值绘制，分别对应于传播模和消失模。我们可以通过绘制每种模式的位移场为其生成可视化效果 ... 扩展阅读

在此基准模型中，我们将穿孔板阻尼系数的计算结果与实验数据进行了比较。仿真包含 18 种不同的几何构型。其中使用 Bao 穿孔模型，该模型内置在“薄膜流动”物理场接口中。还模拟了两种极限情况 ... 扩展阅读

固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在三维中模拟 SMR，其中通过附着在传感器表面的不同颗粒数来计算特征模态，分析灵敏度，并研究频率响应的相应变化 ... 扩展阅读