MEMS 扫描镜
Application ID: 124281
MEMS 扫描镜是一种通过微驱动器控制镜面单轴或双轴扭转来实现光路控制的 MEMS 器件，广泛应用于激光投影、激光雷达以及激光加工等领域。
本例通过解析公式来计算静电驱动的扭矩，以此替代动网格方法。单轴扫描微镜由静电梳驱动，采用固体力学与几何光学接口耦合建模，并结合静态和动态研究以描述微镜的动态扫描过程。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。