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随着集成电路 (IC) 技术的飞速发展，电路性能不断提升，尺寸日益缩小，识别并预防电路故障的各种因素变得尤为重要。 互连结构内的电迁移是导致电路故障的关键因素之一，其根本原因在于金属内部空位的积聚。 ... 扩展阅读

MEMS 扫描镜是一种通过微驱动器控制镜面单轴或双轴扭转来实现光路控制的 MEMS 器件，广泛应用于激光投影、激光雷达以及激光加工等领域。本例通过解析公式来计算静电驱动的扭矩，以此替代动网格方法 ... 扩展阅读

材料受到循环应力作用时产生的热弹性阻尼是设计 MEMS 谐振器时要考虑的一个重要因素，应力引起变形，材料在压应力作用下受热，在拉应力作用下冷却，因此，由于产生的热通量，能量发生损耗，来产生这种阻尼。 ... 扩展阅读

此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何计算压电 MEMS 器件的 S 参数。S 参数的测量通常用于描述 RF 应用中这种器件的特征。通过“静电”物理场接口中的终端特征 ... 扩展阅读

COMSOL Multiphysics 5.2 版引入了一种指定用户定义材料模型的新方法。 对于结构力学，您可以在域中完全定义材料模型，也可以向弹性材料添加非弹性应变贡献。 外部材料函数用 C 语言编码 ... 扩展阅读

压电阀响应速度快且运行安静，因此常用于医学应用和实验室，其节能运行消耗的热量也非常少，这对于这些应用来说非常重要。 此模型介绍如何在 COMSOL 中对压电阀建模。阀由层叠压电致动器致动 ... 扩展阅读

在这个模型中，我们介绍了如何为起到热电发电机作用的塞贝克效应建模。塞贝克效应是材料温差导致电势差的现象。将该模型中绘制的电势与 Jaegle 的论文（示例 3）进行比较，可以发现二者非常吻合。 参考资料： ... 扩展阅读

本例探讨使用“压电器件”物理场接口对压电执行器进行静态二维轴对称分析，其中基于 S. Peelamedu 等人的描述，对径向极化压电管进行建模。喷墨打印机的喷嘴上就采用了径向极化管，用于流体控制。 扩展阅读

有限元 (FEM) 仿真可以用来获取不同典型配置下的 SAW 速度和一些相关参数（如电机耦合系数的平方、反射率等）。这些参数是 SAW 器件设计中各种解析和半解析方法（如 Delta 函数模型、COM 方法等 ... 扩展阅读

本例模拟一个静电驱动的 MEMS 谐振器。该装置由平行板电容器上施加的交流 + 直流偏压驱动。其中计算谐振器的吸合和释放电压。这是通过对从初始松弛状态一直到吸合平坦状态的整个运动范围的位移-电压轨迹执行准静态分析完成的。 扩展阅读