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固态装配谐振器 (SMR) 是一种压电 MEMS 谐振器，通常在厚基板上沉积声镜叠层制成。本教程演示如何在三维中模拟 SMR，其中通过附着在传感器表面的不同颗粒数来计算特征模态，分析灵敏度，并研究频率响应的相应变化 ... 扩展阅读

兰姆波谐振器在许多射频应用中扮演着关键的角色。本教学案例演示如何对氮化铝兰姆波谐振器进行建模仿真，通过特征频率和频率响应分析来全面了解其特性。 扩展阅读

在自然界中，壁虎利用干附着力来爬墙，研究人员由此得到启发，开发了仿壁虎刚毛，用于机器人等应用。 此模型包含纳米/微米层级的仿壁虎刚毛，其中纳米和微米尺度的悬臂梁描述附着在壁虎足上的刚毛及一个跗节的趾突部分。 ... 扩展阅读

MEMS 扫描镜是一种通过微驱动器控制镜面单轴或双轴扭转来实现光路控制的 MEMS 器件，广泛应用于激光投影、激光雷达以及激光加工等领域。本例通过解析公式来计算静电驱动的扭矩，以此替代动网格方法 ... 扩展阅读

此模型介绍如何计算金刚石盘式谐振器的锚损受限品质因子。谐振器通过多晶硅柱锚接在基板上，功率通过该柱传递到基板，使用完美匹配层来表示本质上无限大的基板。此模型基于 2007 年在格勒诺布尔市举办的 COMSOL ... 扩展阅读

本模型分析微镜在空气中的工作情况以及热黏性阻尼对振动响应的影响，其中包含结构中的热损失和热黏性声学现象。该模型使用热黏性-热弹性边界 多物理场耦合将热弹性力学 多物理场接口耦合到热黏性声学，频域。 扩展阅读

轧制工艺在金属加工、电池电极生产和制造过程中有着广泛的应用。本模型演示了轧制工艺的过程，即工件在通过一对轧辊时被挤压，受到轧辊的压力作用，并通过摩擦被轧辊带动向前推进。通过仿真结果，可以估计轧制过程中引起的变形和残余应力。 扩展阅读

压膜气体阻尼是许多 MEMS 换能器和执行器中的关键要素。以加速度计为例，当受到惯性作用时，器件能够检测到相应的运动。其典型的结构是将一个较大的质量块通过弹性梁与周围结构相连，形成一个具有特定共振频率的机械振荡器。然而 ... 扩展阅读

这个基准模型在频域和时域中计算作用在振动圆盘上的总力，并将两个结果与通过解析方式推导的表达式进行了比较。当振幅足够小时，系统呈线性，频域和时域结果与理论值非常一致。在时域中探讨了较大幅度的振动 ... 扩展阅读

本教学案例使用“不确定性量化”来研究制造变化对二维固态装配谐振器 (2D SMR) 性能的影响，演示了压电层和布拉格反射层的厚度变化如何影响谐振频率，其中采用一种有效的技术，即在“不确定性量化 ... 扩展阅读