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直拉法(Czochralski,CZ)是制备单晶硅的核心工艺之一。通过精准调控加热功率、拉速和晶体旋转速率,能够有效控制晶体的形状,尤其是其直径。 本模型演示了直拉法晶体生长炉的热分析过程。系统采用电加热器进行加热 ... 扩展阅读
本教学案例以电感耦合等离子体反应器为研究对象,模拟硅烷/氩气混合气体环境下的非晶硅沉积过程。通过仿真分析晶圆表面沉积速率的分布特征,并探究其随硅烷摩尔分数和输入功率的变化规律。 扩展阅读
通过对材料的结构进行设计,可以使其介电常数和磁导率都为负值。实际工程中,常常通过尺度特征与波长相当的周期性结构来实现。我们可以对这种材料的单个基本单元进行建模,也可以对一大块折射率为负值的材料的属性进行建模 ... 扩展阅读
此模型介绍如何计算金刚石盘式谐振器的锚损受限品质因子。谐振器通过多晶硅柱锚接在基板上,功率通过该柱传递到基板,使用完美匹配层来表示本质上无限大的基板。此模型基于 2007 年在格勒诺布尔市举办的 COMSOL ... 扩展阅读
本例基于 Wolf 等人的研究成果 (2000),演示如何使用“化学反应工程模块”的反应工程 接口对生化反应网络/序列进行建模。 欢迎阅读随附的博客文章,了解更多信息:如何使用 COMSOL® 模拟代谢反应网络 扩展阅读
这些示例演示在 COMSOL Multiphysics® 软件 5.3 版中引入的静电,边界元 接口的使用。在与这些文件相关的博客文章“如何创建含导线、曲面和实体的静电模型”中 ... 扩展阅读
