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本例模拟单极静电吸盘上 4 英寸晶圆的压力相关加热。该晶圆在环的顶部被静电力压住，以抵抗在晶片与吸盘表面之间的间隙中流动的气体产生的向上压力。这是一个包含 4 个耦合物理场（SM、ES、LF 和 HT）和动网格的问题 ... 扩展阅读

微光刻透镜用于将集成电路的图像投影到硅基板上。本教程演示如何创建一个 21 元素的熔融石英透镜，其 NA 为 0.56，设计用于 248nm 的波长。该透镜的总长度为 1 米，放大倍率为 -0.25，在 23.4mm ... 扩展阅读

本模型基于以下教科书中包含的基准示例汇编而成： Shape Memory Alloys: Modeling and Engineering Applications. D. Lagoudas Ed. Springer ... 扩展阅读

本例使用 Bergstrom-Boyce 材料模型捕捉炭黑填充氯丁橡胶在压缩与松弛交替的应变历史下的非平衡特性。仿真结果根据文献中的实验和数值结果进行了验证。 扩展阅读

本模型演示如何分析基于音叉的压电速率陀螺仪。 逆压电效应用于驱动平面内的音叉模态，该模态通过科里奥利力与面外模态相耦合，所得的面外运动由正压电效应感测。 音叉几何结构的设计使附近模态的特征频率在频率空间区分开 ... 扩展阅读

这是一个教学案例，介绍如何使用 COMSOL“MEMS 模块”中的“机电”接口对电致伸缩建模。电致伸缩材料（如 PMN-PT）表现出随电场变化的非线性应变。 ... 扩展阅读

本模型研究与驱动另一个滑轮的引擎相连的滑轮中的应力。 为了研究转速对滑轮中应力分布的影响，执行了参数化分析。滑轮轴处的功率保持恒定，因此力矩（由功率与转速的比率定义）将随着转速的增加而减小。这意味着，随着转速增加 ... 扩展阅读

巴特勒矩阵是一种无源波束形成馈电网络，对于相控阵天线来说，这是一种极具成本效益的馈电网络，因为电路可以以微带线的形式制造，并且是在不部署昂贵有源器件的情况下执行波束扫描的可行解决方案。 本例演示如何使用传输线 ... 扩展阅读

冲压成形是一种广泛应用的钣金成型制造工艺。工件（通常是金属片）通过成型和拉延工艺经塑性变形永久性地在模具周围重新成型。 可以执行仿真来避免出现裂缝、破裂、褶皱、过薄及拉伸现象。仿真还有助于估计和解决回弹现象，即 ... 扩展阅读

悬链线是两端受支撑并在自重作用下悬挂的理想化链条或缆绳对应的几何线条。黏性悬链线问题描述两端受支撑的高黏性流体柱在重力作用下的运动。近十年来，这一问题已引起学术界在理论和实验方面的重大关注 ... 扩展阅读