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"electric field"
本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器(也称为 ICP/CCP 反应器),其中计算了流体流动和气体加热,并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读
本例是一个在频域中求解的 MEMS 麦克风模型,其中包含直流预应力效应。模型使用“机电”多物理场接口、“热黏性声学”和“压力声学”接口建立,其中麦克风由穿孔板和预应力膜组成,其中引入了“滑移壁 ... 扩展阅读
本例演示如何优化微机电 (MEMS) 金属镜表面涂层材料的厚度,以实现反射率最大化。为了缩短仿真时间,其中使用“多层阻抗边界条件”模拟金属镜顶部的薄涂层材料。 扩展阅读
此模型演示如何使用“机电”接口模拟电容驱动的表面微机械加速度计,它以 Stephen D. Senturia 编写的 Mcrosystem Design 一书中的案例研究(由 Kluwer Academic ... 扩展阅读