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含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电，使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多，因此 ... 扩展阅读
超材料中的模式色散可以通过改变组成基本单元的材料类型和尺寸来进行设计。例如，周期性排列的亚波长金属-介质多层超材料在矩量空间中表现出各向异性的色散特性。在特定频率范围内，这种结构的介电常数会在正交光轴上呈现相反的符号 ... 扩展阅读
该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP，其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置，以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外 ... 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解，计算了流体流动和气体加热过程。此外，还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
导电固体材料在静磁场中运动时会感应出涡流。流过导体的电流本身也在磁场中运动，在固体上感应出洛伦兹力，因此，在静磁场中振动的导电固体将受到结构阻尼的作用。 在本例中，悬臂梁在一定频率范围内受谐振激励，并且被置于强磁场中 ... 扩展阅读
此模型模拟简单的三维轴对称亥姆霍兹共振器，这是共振电路的经典声学模型，具有已知的理论解。这里分析的理想化版本包含串联的管和闭合容积，二者受到脉动压力的作用。由谐振器解释的真实世界现象包括从空瓶顶部吹气产生的谐振 ... 扩展阅读
