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射频四极离子阱利用射频四极场 (RFQ) 精准捕获离子束。首先,连续的高能离子束经过冷却,被压缩成空间受限的束团,随后可在最小化束流发热的情况下释放。这种设备通常被称为保罗阱,通过振荡的交流电压在径向上约束离子束 ... 扩展阅读
模拟带电粒子束在高电流和高相对论速度下的传播时,空间电荷和电子束电流会产生显著的电力和磁力,这两个力分别使电子束发散和聚集。 在本例中,带电粒子追踪 ... 扩展阅读
离子束刻蚀是半导体制造、材料科学和微机电系统 (MEMS) 领域不可或缺的核心工艺。为深入剖析这一复杂物理过程,本概念验证模型使用带电粒子追踪 接口,精确模拟了硅表面的氩离子溅射过程,并采用变形几何 ... 扩展阅读
对高电流下带电粒子束的传播建模时,由粒子束产生的空间电荷力显著影响带电粒子的轨迹。这些轨迹的扰动反过来影响空间电荷分布。 “带电粒子追踪”接口可以使用迭代过程有效地计算稳态条件下运行的系统的强耦合粒子轨迹和电场 ... 扩展阅读
本案例中 Ar+ 的漂移速度采用蒙特卡洛仿真来计算,其中对氩离子与环境中性粒子的弹性碰撞进行显式建模。模型使用了实验中与能量相关的碰撞横截面数据。 平均离子速度值与实验数据在大范围约化电场内一致,这表明 ... 扩展阅读
