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本教学案例研究大气压下干燥空气中的同轴直流电晕放电，模型尺寸和工作条件与采用线-板配置的静电除尘器相似。内线电极的半径为 100 mm，电极之间的间隙为 10 cm。 该模型采用漂移 ... 扩展阅读
本模型验证了在 51.8kV 下，由大气压下的干空气分离的两个相距 2cm 的球体之间开始形成流注。通过沿两个球体之间的电场线对汤森系数进行积分来检测电击穿。当积分后的汤森系数达到一定的阈值时，就会形成流注，从而造成短路。 扩展阅读
本例研究在点对面配置中产生的直流等离子体弧的电气和热特性。其中假设放电处于局部热力学平衡状态，将等离子体视为一种导电流体介质，并使用磁流体动力学方法进行建模。该模型演示如何使用“感应/直流耦合平衡放电 ... 扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。EEDF 存在解析形式，如麦克斯韦或 Druyvesteyn，但在某些情况下，解析形式不适合放电物理场。 ... 扩展阅读
含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电，使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多，因此 ... 扩展阅读
表面化学反应通常是反应流建模中被忽视的方面。这个教学案例演示如何将表面反应和物质添加到化学气相沉积 (CVD) 这类研究过程中，随后模拟硅在晶片上的生长。 最初，使用全局模型来研究包含复杂化学物质的广泛参数区域。然后 ... 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解，计算了流体流动和气体加热过程。此外，还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
本教学案例演示如何建立脉冲电容放电模型。导通脉冲包含 13.56 MHz 下的 10 个激励周期，以及后续 100 个无激励周期。本例研究 I-V 特性、电子密度、温度和等离子体电位。 扩展阅读