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本模型验证了在 51.8kV 下，由大气压下的干空气分离的两个相距 2cm 的球体之间开始形成流注。通过沿两个球体之间的电场线对汤森系数进行积分来检测电击穿。当积分后的汤森系数达到一定的阈值时，就会形成流注，从而造成短路。 扩展阅读
此模型利用等离子体，时间周期 接口对美国国家标准与技术研究院 (NIST) 气体电子会议 (GEC) 参比电池进行二维研究。二维示例有助于理解物理场，而不会消耗过多的 CPU 时间。 该参比电池由固定功率驱动 ... 扩展阅读
本模型研究了大气压条件下电感耦合等离子体炬的电学和热学特性，其中假设放电过程处于局部热力学平衡状态。 扩展阅读
本教学案例介绍了在大气压下对氮气中的双头流注的研究。初始的电子种子被放置在两个电极之间，这两个电极对气体施加 52 kV/cm 的初始电场，产生向电极传播的负和正流注。流注的电子密度、电场和传播速度与 ... 扩展阅读
该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP，其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置，以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外 ... 扩展阅读
本教学案例模拟了在 CF4/O2 混合气体环境中，采用带射频偏压的电感耦合等离子体反应器进行硅刻蚀的过程。模型计算了沿晶圆分布的刻蚀速率，并分析其随射频偏压的变化关系。 扩展阅读
电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作，具体取决于放电功率。在低功率状态（称为 α 态）下，电场振荡导致产生热量，并产生电子。在高功率状态（称为 γ 态）下，放电主要由鞘层内的电子雪崩维持 ... 扩展阅读
微波加热导致的放电可以非常简单，例如使用波导将平面波引导到反应器中，也可以非常复杂，例如在 ECR（电子回旋共振）反应器中的放电。在本案例中，微波发射到反应器中，产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射，维持等离子体。 扩展阅读
