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微波加热导致的放电可以非常简单，例如使用波导将平面波引导到反应器中，也可以非常复杂，例如在 ECR（电子回旋共振）反应器中的放电。在本案例中，微波发射到反应器中，产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射，维持等离子体。 扩展阅读
本教学模型对 SF6/氩混合气体中的电感耦合等离子体反应器进行求解，计算了流体流动和气体加热过程。此外，还探讨了模拟负电性放电的关键特性及建模策略。 扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。EEDF 存在解析形式，如麦克斯韦或 Druyvesteyn，但在某些情况下，解析形式不适合放电物理场。 ... 扩展阅读
本例研究在点对面配置中产生的直流等离子体弧的电气和热特性。其中假设放电处于局部热力学平衡状态，将等离子体视为一种导电流体介质，并使用磁流体动力学方法进行建模。该模型演示如何使用“感应/直流耦合平衡放电 ... 扩展阅读
本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对直流辉光放电进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读
本模型验证了在 51.8kV 下，由大气压下的干空气分离的两个相距 2cm 的球体之间开始形成流注。通过沿两个球体之间的电场线对汤森系数进行积分来检测电击穿。当积分后的汤森系数达到一定的阈值时，就会形成流注，从而造成短路。 扩展阅读
本教学案例研究大气压下干燥空气中的同轴直流电晕放电，模型尺寸和工作条件与采用线-板配置的静电除尘器相似。内线电极的半径为 100 mm，电极之间的间隙为 10 cm。 该模型采用漂移 ... 扩展阅读
本教学案例演示如何建立脉冲电容放电模型。导通脉冲包含 13.56 MHz 下的 10 个激励周期，以及后续 100 个无激励周期。本例研究 I-V 特性、电子密度、温度和等离子体电位。 扩展阅读
电容耦合射频放电可以在两种不同的状态下工作，具体取决于放电功率。在低功率状态（称为 α 态）下，电场振荡导致产生热量，并产生电子。在高功率状态（称为 γ 态）下，放电主要由鞘层内的电子雪崩维持 ... 扩展阅读
本模型通过求解两项近似玻尔兹曼方程来研究氮气和氧气混合物（背景干空气），并通过在电子碰撞截面上对电子能量分布函数进行适当积分来计算电子传递系数和源项。此外，本例还演示如何准备可导出的电子能量分布函数，以便用于“等离子体 ... 扩展阅读