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本教学案例求解氩气/氧气混合物中的电感耦合等离子体反应器。该模型计算流体流动和气体加热，并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读
此模型计算商用电容耦合等离子体反应器的离子能量分布函数 (IEDF)，结果与实验数据非常一致。 扩展阅读
本教学案例演示如何建立脉冲电容放电模型。导通脉冲包含 13.56 MHz 下的 10 个激励周期，以及后续 100 个无激励周期。本例研究 I-V 特性、电子密度、温度和等离子体电位。 扩展阅读
电容耦合等离子体的基础物理学相当复杂，即使是相当简单的几何构型和等离子体化学反应也是如此。此模型基于多个不同计算结果对“电容耦合等离子体”物理场接口进行基准测试。 扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。EEDF 存在解析形式，如麦克斯韦或 Druyvesteyn，但在某些情况下，解析形式不适合放电物理场。 ... 扩展阅读
该模型演示如何使用形状优化来设计 ICP 反应器的线圈以获得均匀的等离子体。所研究的反应器是一个平面 ICP，其线圈沿径向分布。本例使用“优化”研究步骤来找到最佳线圈位置，以尽可能地减小反应器中心的电子密度梯度。此外 ... 扩展阅读
电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。在本例中，我们研究氩等离子体的形成周期，其中着重分析 EEDF。等离子体由 1 kV 直流电源电压在 100 mTorr 下于 4 cm 间隙内产生 ... 扩展阅读
此教学案例演示如何计算电容耦合等离子体的阻抗。通过时间周期 研究计算等离子体的时间周期解，随后，将解转换为时域解，再调用快速傅里叶变换 (FFT) 求解器，这样可以针对给定的一组输入参数计算等离子体阻抗 ... 扩展阅读
本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器，并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读