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本模型模拟了大气压下气体的电击穿。对一维以上的介质阻挡放电问题进行模拟是可实现的，但由于其中涉及的物理现象相当多，结果常常难以解释。 在这个简单的模型中，通过假定介电间隙远小于平板的直径，将问题简化为一维 ... 扩展阅读

本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器，并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读

电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。EEDF 存在解析形式，如麦克斯韦或 Druyvesteyn，但在某些情况下，解析形式不适合放电物理场。 ... 扩展阅读

本模型模拟中等压力 (2 torr) 下的等离子体，这时等离子体仍未处于局部热力学平衡。在低压下，两个温度解耦，但随着压力的增加，这两个温度趋向于相同的极限。 扩展阅读

含氯的等离子体放电通常用于微电子制造中半导体和金属的蚀刻。 本教学案例利用全局（体积平均）扩散模型研究氯等离子体放电，使用全局扩散模型运行仿真所需的时间比运行空间相关模型所需时间少得多，因此 ... 扩展阅读

本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程，对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程，并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读

表面化学反应通常是反应流建模中被忽视的方面。这个教学案例演示如何将表面反应和物质添加到化学气相沉积 (CVD) 这类研究过程中，随后模拟硅在晶片上的生长。 最初，使用全局模型来研究包含复杂化学物质的广泛参数区域。然后 ... 扩展阅读

本模型通过求解两项近似玻尔兹曼方程来研究氮气和氧气混合物（背景干空气），并通过在电子碰撞截面上对电子能量分布函数进行适当积分来计算电子传递系数和源项。此外，本例还演示如何准备可导出的电子能量分布函数，以便用于“等离子体 ... 扩展阅读

微波加热导致的放电可以非常简单，例如使用波导将平面波引导到反应器中，也可以非常复杂，例如在 ECR（电子回旋共振）反应器中的放电。在本案例中，微波发射到反应器中，产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射，维持等离子体。 扩展阅读

本教学案例研究大气压下干燥空气中的同轴直流电晕放电，模型尺寸和工作条件与采用线-板配置的静电除尘器相似。内线电极的半径为 100 mm，电极之间的间隙为 10 cm。 该模型采用漂移 ... 扩展阅读